刘启发
发布时间: 2013-08-28 访问次数: 947

一、简要信息

姓名

刘启发

职称

导师类别

行政职务

学位(最高)

工学博士

毕业学校

(最近)

上海交通大学

学术职务

(限填4项)

研究方向

(限填3项)

光子器件

微纳加工

微电子器件

主持项目

(限填4项)

教授课程

二、个人简介

  刘启发,男,198112月出生,汉族,籍贯山东淄博, 20136月获得上海交通大学微电子学博士学位。
  主要研究方向:微纳加工技术实现MEMS器件、微光子器件等,包括器件的仿真设计、流片加工等。
  代表性论文:
    IEEE Transactions on Plasma Science,Vol.40, No.4, pp.1110-1116, 2012
    Journal of Micromechanics andMicroengineering, Vol.22, No.7, pp.075014, 2012
    Nano-Micro Letters, Vol.4, No.4, pp.247-252,2012
    Plasma Science & Technology, Vol.15,No.4, pp.368-375, 2013
    电话及邮箱:18761889364Liuqf@njupt.edu.cnbingshan1202@163.com